机器人研抛一体机
基于工业机器人的小工具加工机床，利用小工具在元件表面高速旋动，实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。
利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头，确保抛光过程中材料去除函数稳定可控，从而实现超精密元件表面的高精度加工，配合全链路工艺、软件，实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。
应用
超精密元件表面的高精度加工，配合全链路工艺、软件，实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。
特点
1、基于工业机器人专用控制系统，实现高精度表面成型。
2、基于力控传感器的柔性抛光头设计，精确控制加工过程去除函数。
3、根据加工要求，开放式全链路加工工艺软件开发。
4、根据客户要求定制开发
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优势
1、基于工业机器人专用控制系统，实现高精度表面成型。
2、基于力控传感器的柔性抛光头设计，精确控制加工过程去除函数。
3、根据加工要求，开放式全链路加工工艺软件开发。
4、根据客户要求定制开发主要技术指标
项目 参数指标 可加工元件材料 熔石英、K9、微晶等光学元件；合金铝等金属元件 可加工元件最大尺寸 ≥φ1000mm
抛光工具转速 50-800RPM 力传感器量程 Fx/Fy：100N; Fz：200N 力传感器精度 非线性和滞后优于0.5%，串扰优于2% 力传感器分辨率 Fx/Fy：0.09N; Fz：0.33N 工具轴运动范围 1：±180°
2：-90°至+150°
3：-180°至+75°
4：-400°至+400°
5：-125°至+120°
6：-400°至+400°工具轴最大运动速度 1-6轴均为175°/s 重复定位精度 0.06mm 面积需求 3.5m×3.5m×3m 温度要求 22±0.5℃ 湿度要求 40%-80% RH
